Reactive sputter deposition
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "Reactive sputter deposition"
- 責任表示
- D. Depla, S. Mahieu, editors
- 出版者
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- Springer
- 出版年月
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- c2008
- 書籍サイズ
- 25 cm
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282270605943936
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- NII書誌ID
- BA86152323
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- ISBN
- 9783540766629
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- gw
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Berlin
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- 件名
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- LCSH: Thin films
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- データソース種別
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- CiNii Books