次世代光リソグラフィーの真空紫外光学材料応用フッ化物単結晶の開発
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "次世代光リソグラフィーの真空紫外光学材料応用フッ化物単結晶の開発"
- 責任表示
- 研究代表者 福田承生
- 出版者
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- [福田承生]
- 出版年月
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- 2002.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- ジ セダイ ヒカリ リソグラフィー ノ シンクウ シガイ コウガク ザイリョウ オウヨウ フッカブツ タンケッショウ ノ カイハツ
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注記
課題番号: 12555001
平成12年度～平成14年度科学研究費補助金基盤研究(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282270630687232
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- NII書誌ID
- BB10075754
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [仙台]
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- データソース種別
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- CiNii Books