Surface and interface analysis of microelectronic materials processing and growth, 12-13 October 1989, Santa Clara, California
CiNii
所蔵館 5館
書誌事項
- タイトル
- "Surface and interface analysis of microelectronic materials processing and growth, 12-13 October 1989, Santa Clara, California"
- 責任表示
- Leonard J. Brillson, Fred H. Pollak, chairs/editors ; sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering ; cooperating organizations, Center for Advanced Electronic Materials Processing/North Carolina State University ... [et al.]
- 出版者
-
- SPIE
- 出版年月
-
- c1990
- 書籍サイズ
- 28 cm
この図書・雑誌をさがす
注記
Includes bibliographical references and index
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1130282270639525888
-
- NII書誌ID
- BA24466479
-
- ISBN
- 0819402222
-
- 本文言語コード
- en
-
- 出版国コード
- us
-
- タイトル言語コード
- en
-
- 出版地
-
- Bellingham, Wash.
-
- データソース種別
-
- CiNii Books