Surface and interface analysis of microelectronic materials processing and growth, 12-13 October 1989, Santa Clara, California

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書誌事項

タイトル
"Surface and interface analysis of microelectronic materials processing and growth, 12-13 October 1989, Santa Clara, California"
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Leonard J. Brillson, Fred H. Pollak, chairs/editors ; sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering ; cooperating organizations, Center for Advanced Electronic Materials Processing/North Carolina State University ... [et al.]
出版者
  • SPIE
出版年月
  • c1990
書籍サイズ
28 cm

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Includes bibliographical references and index

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130282270639525888
  • NII書誌ID
    BA24466479
  • ISBN
    0819402222
  • 本文言語コード
    en
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    en
  • 出版地
    • Bellingham, Wash.
  • データソース種別
    • CiNii Books
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