High Purity Silicon 11
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書誌事項
- タイトル
- "High Purity Silicon 11"
- 責任表示
- editors, E. Simoen ... [et al.]
- 出版者
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- Electrochemical Society
- 出版年月
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- c2010
- 書籍サイズ
- 23 cm
- タイトル別名
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- High Purity Silicon 11 : dielectric and semiconductor materials, devices, and processing
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注記
Includes bibliographical references and index
"The paperes included in this issue of ECS Transactions were originally presented in the symposium "High Purity Silicon 11", held during the 218th meeting of The Electrochemical Society, in Las Vegas, Nevada from October 10 to 15, 2010."-- preface
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282270730641664
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- NII書誌ID
- BB09048222
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- ISBN
- 9781607681809
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Pennington, N.J.
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- データソース種別
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- CiNii Books