High Purity Silicon 11

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書誌事項

タイトル
"High Purity Silicon 11"
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editors, E. Simoen ... [et al.]
出版者
  • Electrochemical Society
出版年月
  • c2010
書籍サイズ
23 cm
タイトル別名
  • High Purity Silicon 11 : dielectric and semiconductor materials, devices, and processing

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注記

Includes bibliographical references and index

"The paperes included in this issue of ECS Transactions were originally presented in the symposium "High Purity Silicon 11", held during the 218th meeting of The Electrochemical Society, in Las Vegas, Nevada from October 10 to 15, 2010."-- preface

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130282270730641664
  • NII書誌ID
    BB09048222
  • ISBN
    9781607681809
  • 本文言語コード
    en
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    en
  • 出版地
    • Pennington, N.J.
  • データソース種別
    • CiNii Books
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