Microfabricated systems and MEMS VI : proceedings of the international symposium

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書誌事項

タイトル
"Microfabricated systems and MEMS VI : proceedings of the international symposium"
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editors, P.J. Hesketh ... [et al.]
出版者
  • Electrochemical Society
出版年月
  • c2002
書籍サイズ
24 cm

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注記

"... held at the 202nd Meeting of the Electrochemical society, May 12-17th, 2002, in Philadelphia, PA"--on pref

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130282270758596096
  • NII書誌ID
    BA59031337
  • ISBN
    1566773725
  • 本文言語コード
    en
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    en
  • 出版地
    • Pennington, N.J.
  • データソース種別
    • CiNii Books
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