拡張シールド型真空アーク蒸着装置による絶縁性窒化アルミニウム膜の創製
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "拡張シールド型真空アーク蒸着装置による絶縁性窒化アルミニウム膜の創製"
- 責任表示
- 研究代表者 榊原建樹
- 出版者
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- 榊原建樹
- 出版年月
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- 2002.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- カクチョウ シールドガタ シンクウ アーク ジョウチャク ソウチ ニヨル ゼツエンセイ チッカ アルミニウム マク ノ ソウセイ
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注記
課題番号: 11450122
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282270772989312
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- NII書誌ID
- BA72844249
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [豊橋]
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- データソース種別
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- CiNii Books