光学的手法を用いた化合物半導体基板の評価とその特性改善に関する基礎的研究
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "光学的手法を用いた化合物半導体基板の評価とその特性改善に関する基礎的研究"
- 責任表示
- 研究代表者 安達芳夫、生駒俊明
- 出版者
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- [東京大学生産技術研究所]
- 出版年月
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- 1984.3
- 書籍サイズ
- 26cm
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注記
昭和58年度科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書(課題番号57460111)
安達芳夫:昭和57年度研究代表者/昭和58年度研究分担者
生駒俊明:昭和57年度研究分担者/昭和58年度研究代表者
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282270822546176
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- NII書誌ID
- BB23500794
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [東京]
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- データソース種別
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- CiNii Books