64- to 256-megabit reticle generation : technology requirements and approaches

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書誌事項

タイトル
"64- to 256-megabit reticle generation : technology requirements and approaches"
責任表示
Gregory K. Hearn, editor
出版者
  • SPIE Optical Engineering Press
出版年月
  • c1994
書籍サイズ
27 cm
シリーズ名/番号
  • pbk.
タイトル別名
  • Sixty-four to two hundred fifty-six-megabit reticle generation

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注記

"Proceedings of a conference held 24 September 1993, Santa Clara, California, sponsored by BACUS--the International Technical Group of SPIE dedicated to the advancement of photomask technology."

Includes bibliographical references and index

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