64- to 256-megabit reticle generation : technology requirements and approaches
書誌事項
- タイトル
- "64- to 256-megabit reticle generation : technology requirements and approaches"
- 責任表示
- Gregory K. Hearn, editor
- 出版者
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- SPIE Optical Engineering Press
- 出版年月
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- c1994
- 書籍サイズ
- 27 cm
- シリーズ名/番号
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- pbk.
- タイトル別名
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- Sixty-four to two hundred fifty-six-megabit reticle generation
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注記
"Proceedings of a conference held 24 September 1993, Santa Clara, California, sponsored by BACUS--the International Technical Group of SPIE dedicated to the advancement of photomask technology."
Includes bibliographical references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282270904918144
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- NII書誌ID
- BA28802013
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- ISBN
- 0819413577
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- LCCN
- 93046150
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/93046150
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Bellingham, Wash.
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- 分類
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- LCC: TK7874
- DC20: 621.3815/31
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- データソース種別
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- CiNii Books