17th European Conference on Mask Technology for Integrated Circuits and Microcomponents

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書誌事項

タイトル
"17th European Conference on Mask Technology for Integrated Circuits and Microcomponents"
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Uwe F.W. Behringer, chair/editor ; organized by VDE/VDI-Society and Institute for Microstructure Technology (GMM)(Germany)
出版者
  • SPIE
出版年月
  • c2001
書籍サイズ
28 cm

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注記

Includes bibliographical references and indexes

"13-24 November 2000, Munich, Germany"

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130282270956171776
  • NII書誌ID
    BA58680990
  • ISBN
    0819440396
  • 本文言語コード
    en
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    en
  • 出版地
    • [Bellingham, Wash.]
  • データソース種別
    • CiNii Books
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