書誌事項
- タイトル
- "Metal impurities in silicon-device fabrication"
- 責任表示
- Klaus Graff
- 出版者
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- Springer-Verlag
- 出版年月
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- c1995
- 書籍サイズ
- 25 cm
- シリーズ名/番号
-
- : gw
- : us
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注記
Includes bibliographical references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282270973784192
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- NII書誌ID
- BA24136474
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- ISBN
- 3540583173
- 0387583173
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- LCCN
- 94024599
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/94024599
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- gw
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Berlin ; New York
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- 分類
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- LCC: TK7871.85
- DC20: 621.3815/2
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- 件名
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- LCSH: Semiconductors -- Defects
- LCSH: Silicon -- Inclusions
- LCSH: Silicon -- Defects
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- データソース種別
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- CiNii Books