表面粗さのインライン全数検査を実現する高速インプロセス測定システムの開発
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "表面粗さのインライン全数検査を実現する高速インプロセス測定システムの開発"
- 責任表示
- 研究代表者:大橋一仁
- 出版者
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- 大橋一仁
- 出版年月
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- 2008.5
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- ヒョウメン アラサ ノ インライン ゼンスウ ケンサ オ ジツゲン スル コウソク インプロセス ソクテイ システム ノ カイハツ
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注記
課題番号: 18560106
研究分担者: 塚本真也, 長谷川裕之
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282270986548096
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- NII書誌ID
- BA89262226
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [岡山]
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- 分類
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- NDC9: 377.7
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- データソース種別
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- CiNii Books
