磁場制御による3次元複雑形状面の全面同時研磨に関する新型ナノ研磨装置の開発
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "磁場制御による3次元複雑形状面の全面同時研磨に関する新型ナノ研磨装置の開発"
- 責任表示
- 研究代表者 島田邦雄
- 出版者
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- [福島大学共生システム理工学類]
- 出版年月
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- 2007.4
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- ジバ セイギョ ニヨル 3ジゲン フクザツ ケイジョウメン ノ ゼンメン ドウジ ケンマ ニ カンスル シンガタ ナノ ケンマ ソウチ ノ カイハツ
- 平成17年度〜平成18年度科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書
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注記
研究課題番号: 17560089
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282271163573504
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- NII書誌ID
- BA82409552
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- 本文言語コード
- ja
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [福島]
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- データソース種別
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- CiNii Books