磁場制御による3次元複雑形状面の全面同時研磨に関する新型ナノ研磨装置の開発

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書誌事項

タイトル
"磁場制御による3次元複雑形状面の全面同時研磨に関する新型ナノ研磨装置の開発"
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研究代表者 島田邦雄
出版者
  • [福島大学共生システム理工学類]
出版年月
  • 2007.4
書籍サイズ
30cm
タイトル別名
  • ジバ セイギョ ニヨル 3ジゲン フクザツ ケイジョウメン ノ ゼンメン ドウジ ケンマ ニ カンスル シンガタ ナノ ケンマ ソウチ ノ カイハツ
  • 平成17年度〜平成18年度科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書

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注記

研究課題番号: 17560089

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130282271163573504
  • NII書誌ID
    BA82409552
  • 本文言語コード
    ja
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    ja
  • 出版地
    • [福島]
  • データソース種別
    • CiNii Books
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