高周波スパッタ蒸着法による多結晶半導体およびダイヤモンド薄膜の低温成膜
CiNii
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Bibliographic Information
- Title
- "高周波スパッタ蒸着法による多結晶半導体およびダイヤモンド薄膜の低温成膜"
- Statement of Responsibility
- 研究代表者 芳井熊安
- Publisher
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- 大阪大学工学部
- Publication Year
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- 1997.4
- Book size
- 30 cm
- Other Title
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- コウシュウハ スパッタ ジョウチャクホウ ニ ヨル タケッショウ ハンドウタイ オヨビ ダイヤモンド ハクマク ノ テイオン セイマク
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Notes
課題番号: 07455065
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1130282271175439872
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- NII Book ID
- BB26663128
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- Text Lang
- ja
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- Country Code
- ja
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- Title Language Code
- ja
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- Place of Publication
-
- [吹田]
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- Data Source
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- CiNii Books