高周波スパッタ蒸着法による多結晶半導体およびダイヤモンド薄膜の低温成膜

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Bibliographic Information

Title
"高周波スパッタ蒸着法による多結晶半導体およびダイヤモンド薄膜の低温成膜"
Statement of Responsibility
研究代表者 芳井熊安
Publisher
  • 大阪大学工学部
Publication Year
  • 1997.4
Book size
30 cm
Other Title
  • コウシュウハ スパッタ ジョウチャクホウ ニ ヨル タケッショウ ハンドウタイ オヨビ ダイヤモンド ハクマク ノ テイオン セイマク

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Notes

課題番号: 07455065

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130282271175439872
  • NII Book ID
    BB26663128
  • Text Lang
    ja
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [吹田]
  • Data Source
    • CiNii Books
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