液体原料気化CVD法による誘電体薄膜の製造とプロセスシミュレータの開発

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Bibliographic Information

Title
"液体原料気化CVD法による誘電体薄膜の製造とプロセスシミュレータの開発"
Statement of Responsibility
研究代表者 奥山喜久夫
Publisher
  • 広島大学大学院工学研究科
Publication Year
  • 2003.3
Book size
30cm
Other Title
  • エキタイ ゲンリョウ キカ CVDホウ ニ ヨル ユウデンタイ ハクマク ノ セイゾウ ト プロセスシミュレータ ノ カイハツ

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Notes

課題番号: 12450319

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130282271192620160
  • NII Book ID
    BA65186542
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • 東広島
  • Data Source
    • CiNii Books
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