次世代400mmシリコンウエハ平坦度の自律的超精密測定システムの開発
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "次世代400mmシリコンウエハ平坦度の自律的超精密測定システムの開発"
- 責任表示
- 研究代表者 高偉
- 出版者
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- [高偉]
- 出版年月
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- 2003.5
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- ジセダイ 400mm シリコンウエハ ヘイタンド ノ ジリツテキ チョウセイミツ ソクテイ システム ノ カイハツ
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注記
研究課題番号: 12555032
平成12年度～平成14年度科学研究費補助金[基盤研究(B)(2)]研究成果報告書
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282271258378624
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- NII書誌ID
- BB10074398
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- 本文言語コード
- ja
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [仙台]
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- データソース種別
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- CiNii Books