書誌事項
- タイトル
- "Semiconductor processing : a symposium"
- 責任表示
- sponsored by ASTM Committee F-1 on Electronics ... [et al.], San Jose, CA, 7-10 Feb., 1984 ; D.C. Gupta, editor
- 出版者
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- ASTM
- 出版年月
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- c1984
- 書籍サイズ
- 24 cm
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注記
"ASTM publication code number (PCN) 04-850000-46."
Includes bibliographies and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282271328915200
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- NII書誌ID
- BA04324278
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- ISBN
- 0803104030
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- LCCN
- 84018476
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/84018476
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Philadelphia, PA
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- 分類
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- LCC: TK7871.85
- DC19: 621.3815/2
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- 件名
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- データソース種別
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- CiNii Books
