エキシマレーザーによる光化学反応を利用した低温凝集相からの成膜法の開発
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "エキシマレーザーによる光化学反応を利用した低温凝集相からの成膜法の開発"
- 責任表示
- 研究代表者 遠藤勝義
- 出版者
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- 大阪大学工学部
- 出版年月
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- 1998.4
- 書籍サイズ
- 30 cm
- タイトル別名
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- エキシマ レーザー ニ ヨル ヒカリ カガク ハンノウ ヲ リヨウ シタ テイオン ギョウシュウソウ カラ ノ セイマクホウ ノ カイハツ
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注記
課題番号: 07555041
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282271358809472
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- NII書誌ID
- BB28592858
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- 本文言語コード
- ja
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [吹田]
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- データソース種別
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- CiNii Books