流動層粒子循環系を用いた多結晶シリコン製造プロセスの開発

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Bibliographic Information

Title
"流動層粒子循環系を用いた多結晶シリコン製造プロセスの開発"
Statement of Responsibility
阿尻雅文研究代表者
Publisher
  • [阿尻雅文]
Publication Year
  • 1990.3
Book size
26cm
Other Title
  • リュウドウソウ リュウシ ジュンカンケイ オ モチイタ タケッショウ シリコン セイゾウ プロセス ノ カイハツ
  • 昭和63, 平成元年度科学研究費補助金(試験(1))研究成果報告書 : (研究課題番号 63850187)

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Notes

課題番号: 63850187

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130282271376122880
  • NII Book ID
    BB12363818
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [仙台]
  • Data Source
    • CiNii Books
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