流動層粒子循環系を用いた多結晶シリコン製造プロセスの開発
CiNii
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Bibliographic Information
- Title
- "流動層粒子循環系を用いた多結晶シリコン製造プロセスの開発"
- Statement of Responsibility
- 阿尻雅文研究代表者
- Publisher
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- [阿尻雅文]
- Publication Year
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- 1990.3
- Book size
- 26cm
- Other Title
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- リュウドウソウ リュウシ ジュンカンケイ オ モチイタ タケッショウ シリコン セイゾウ プロセス ノ カイハツ
- 昭和63, 平成元年度科学研究費補助金(試験(1))研究成果報告書 : (研究課題番号 63850187)
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Notes
課題番号: 63850187
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1130282271376122880
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- NII Book ID
- BB12363818
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- Country Code
- ja
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- Title Language Code
- ja
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- Place of Publication
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- [仙台]
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- Data Source
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- CiNii Books