プラズマCVDにおける寄与反応の分離と放電による反応プロセス制御
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "プラズマCVDにおける寄与反応の分離と放電による反応プロセス制御"
- 責任表示
- 研究代表者 岡崎健
- 出版者
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- 岡崎健
- 出版年月
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- 1992.3
- 書籍サイズ
- 26cm
- タイトル別名
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- プラズマ CVD ニオケル キヨ ハンノウ ノ ブンリ ト ホウデン ニヨル ハンノウ プロセス セイギョ
- 平成3年度科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書
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注記
研究課題番号: 01460117
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282271380295424
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- NII書誌ID
- BA60139013
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [豊橋]
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- データソース種別
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- CiNii Books