Characterization and metrology for ULSI technology : 2000 international conference, Gaithersburg, Maryland, 26-29 June 2000

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書誌事項

タイトル
"Characterization and metrology for ULSI technology : 2000 international conference, Gaithersburg, Maryland, 26-29 June 2000"
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editors David G. Seiler ... [et al.]
出版者
  • American Institute of Physics
出版年月
  • c2001
書籍サイズ
28 cm

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130282271404605312
  • NII書誌ID
    BA52082125
  • ISBN
    156396967X
  • 本文言語コード
    en
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    en
  • 出版地
    • New York
  • データソース種別
    • CiNii Books
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