書誌事項
- タイトル
- "The role of microscopy in semiconductor failure analysis"
- 責任表示
- B.P. Richards and P.K. Footner
- 出版者
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- Oxford University Press : Royal Microscopical Society
- 出版年月
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- 1992
- 書籍サイズ
- 24 cm
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注記
Includes bibliographical references (p. [98]-101) and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282271409283584
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- NII書誌ID
- BA19076522
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- ISBN
- 0198564325
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- LCCN
- 92004459
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/92004459
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- uk
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Oxford
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- 分類
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- LCC: TK7871.85
- DC20: 621.3815/2/0287
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- 件名
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- LCSH: Semiconductors -- Testing
- LCSH: Semiconductors -- Failures
- LCSH: Microscopes and microscopy
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- データソース種別
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- CiNii Books