Diagnostic techniques for semiconductor materials processing : Symposium held November 29-December 2, 1993, Boston, Massachusetts, U.S.A.

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書誌事項

タイトル
"Diagnostic techniques for semiconductor materials processing : Symposium held November 29-December 2, 1993, Boston, Massachusetts, U.S.A."
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editors, O.J. Glembocki ... [et al.]
出版者
  • Materials Research Society
出版年月
  • c1994
書籍サイズ
24 cm

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Includes bibliographical references and index

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130282271447005568
  • NII書誌ID
    BA23153172
  • ISBN
    1558992235
  • LCCN
    94020397
  • Web Site
    https://lccn.loc.gov/94020397
  • 本文言語コード
    en
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    en
  • 出版地
    • Pittsburgh
  • データソース種別
    • CiNii Books
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