水素を利用したシリコン中の高温点欠陥研究及び二次欠陥フリー単結晶育成法の開発
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "水素を利用したシリコン中の高温点欠陥研究及び二次欠陥フリー単結晶育成法の開発"
- 責任表示
- 末澤正志研究代表者
- 出版者
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- [末澤正志]
- 出版年月
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- 2001.3
- 書籍サイズ
- 31cm
- タイトル別名
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- スイソ オ リヨウ シタ シリコンチュウ ノ コウオンテン ケッカン ケンキュウ オヨビ ニジ ケッカン フリー タンケッショウ イクセイホウ ノ カイハツ
- 平成11年度〜平成12年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(研究課題番号11450001)
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282271447257728
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- NII書誌ID
- BB06063172
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [仙台]
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- データソース種別
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- CiNii Books