イオン照射による薄膜用基板の表面制御に関する研究

CiNii Available at 1 libraries

Bibliographic Information

Title
"イオン照射による薄膜用基板の表面制御に関する研究"
Statement of Responsibility
研究代表者 森勇藏
Publisher
  • 大阪大学工学部
Publication Year
  • 1995.4
Book size
30 cm
Other Title
  • イオン ショウシャ ニ ヨル ハクマクヨウ キバン ノ ヒョウメン セイギョ ニ カンスル ケンキュウ

Search this Book/Journal

Notes

[課題番号]: 05452126

Related Books

See more

Details 詳細情報について

  • CRID
    1130282271485107328
  • NII Book ID
    BB24112247
  • Text Lang
    ja
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [吹田]
  • Data Source
    • CiNii Books
Back to top