気相水素原子と水素終端シリコン表面の反応ダイナミックス

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書誌事項

タイトル
"気相水素原子と水素終端シリコン表面の反応ダイナミックス"
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研究代表者 並木章
出版者
  • [九州工業大学]
出版年月
  • 2005.5
書籍サイズ
30cm
タイトル別名
  • キソウ スイソ ゲンシ ト スイソ シュウタン シリコン ヒョウメン ノ ハンノウ ダイナミックス
  • 平成14年度〜平成16年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

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注記

課題番号: 14350022

研究分担者: 稲永征司, 鶴巻浩

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130282271509263360
  • NII書誌ID
    BA79314491
  • 本文言語コード
    en
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    ja
  • 出版地
    • [北九州]
  • データソース種別
    • CiNii Books
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