Control of mobile-ion contamination in oxidation ambients for MOS device processing
CiNii
所蔵館 1館
書誌事項
- タイトル
- "Control of mobile-ion contamination in oxidation ambients for MOS device processing"
- 責任表示
- Santos Mayo, Richard Y. Koyama and Thomas F. Leedy
- 出版者
-
- U.S. Dept. of Commerce, National Bureau of Standards
- 出版年月
-
- 1978
- 書籍サイズ
- 27 cm
この図書・雑誌をさがす
注記
Includes bibliographical references
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1130282271528925952
-
- NII書誌ID
- BB1906575X
-
- 本文言語コード
- en
-
- 出版国コード
- us
-
- タイトル言語コード
- en
-
- 出版地
-
- [Washington, D.C.]
-
- データソース種別
-
- CiNii Books