書誌事項
- タイトル
- "Characterization in silicon processing"
- 責任表示
- editor, Yale Strusser ; consulting editors, C.R. Brundle, Gary E. McGuire ; managing editor, Lee E. Fitzpatrick
- 出版者
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- Butterworth-Heinemann
- Manning
- 出版年月
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- c1993
- 書籍サイズ
- 25 cm
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注記
Includes bibliographical references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282271537286400
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- NII書誌ID
- BA23536910
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- ISBN
- 0750691727
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- LCCN
- 93022784
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/93022784
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Boston
- Greenwich
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- 分類
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- LCC: QC611.8.S5
- DC20: 620.1/93
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- 件名
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- LCSH: Silicon
- LCSH: Electric conductors
- LCSH: Semiconductor films
- LCSH: Surface chemistry
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- データソース種別
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- CiNii Books