単結晶Al2O3膜上への超平坦・高品質Si薄膜成長法の研究

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書誌事項

タイトル
"単結晶Al2O3膜上への超平坦・高品質Si薄膜成長法の研究"
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石田誠研究代表
出版者
  • 石田誠
出版年月
  • 1998.3
書籍サイズ
30cm
タイトル別名
  • タンケッショウ Al2O3マクジョウ エノ チョウヘイタン・コウヒンシツ Siハクマク セイチョウホウ ノ ケンキュウ

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注記

研究課題番号: 08455144

代表者所属: 豊橋技術科学大学工学部

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130282271539208448
  • NII書誌ID
    BA79826915
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    ja
  • 出版地
    • [豊橋]
  • データソース種別
    • CiNii Books
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