単結晶Al2O3膜上への超平坦・高品質Si薄膜成長法の研究
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "単結晶Al2O3膜上への超平坦・高品質Si薄膜成長法の研究"
- 責任表示
- 石田誠研究代表
- 出版者
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- 石田誠
- 出版年月
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- 1998.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- タンケッショウ Al2O3マクジョウ エノ チョウヘイタン・コウヒンシツ Siハクマク セイチョウホウ ノ ケンキュウ
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注記
研究課題番号: 08455144
代表者所属: 豊橋技術科学大学工学部
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282271539208448
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- NII書誌ID
- BA79826915
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [豊橋]
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- データソース種別
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- CiNii Books