Advances in mirror technology for X-ray, EUV lithography, laser, and other applications : 7-8 August 2003, San Diego, California, USA
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書誌事項
- タイトル
- "Advances in mirror technology for X-ray, EUV lithography, laser, and other applications : 7-8 August 2003, San Diego, California, USA"
- 責任表示
- Ali M. Khounsary, Udo Dinger, Kazuya Ota, chairs/editors ; sponsored and published by SPIE--the International Society for Optical Engineering
- 出版者
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- SPIE
- 出版年月
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- c2004
- 書籍サイズ
- 28 cm
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282271665277824
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- NII書誌ID
- BA67810543
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- ISBN
- 0819450669
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Bellingham, Wash., USA
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- データソース種別
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- CiNii Books