書誌事項
- タイトル
- "Fabrication engineering at the micro- and nanoscale"
- 責任表示
- Stephen A. Campbell
- 出版者
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- Oxford University Press
- 3rd ed
- 出版年月
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- 2008
- 書籍サイズ
- 24 cm
- シリーズ名/番号
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- : pbk
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注記
Rev. ed. of: The science and engineering of microelectronic fabrication. 2nd. ed
Includes bibliographical references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282271706713600
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- NII書誌ID
- BA9151430X
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- ISBN
- 9780195320176
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- LCCN
- 2007013450
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/2007013450
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- New York
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- 分類
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- LCC: TK7871.85
- DC22: 621.3815/2
- NDLC: MC151
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- データソース種別
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- CiNii Books