Materials science of microelectromechanical systems (MEMS) devices : symposium held December 1-2, 1998, Boston, Massachusetts, U.S.A.

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書誌事項

タイトル
"Materials science of microelectromechanical systems (MEMS) devices : symposium held December 1-2, 1998, Boston, Massachusetts, U.S.A."
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editors, Arthur H. Heuer, S. Jushua Jacobs
出版者
  • Materials Research Society
出版年月
  • c1999
書籍サイズ
24 cm

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Includes bibliographical references and indexes

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130282271736891776
  • NII書誌ID
    BA44647909
  • ISBN
    1558994521
  • LCCN
    99051976
  • Web Site
    https://lccn.loc.gov/99051976
  • 本文言語コード
    en
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    en
  • 出版地
    • Warrendale, Pa.
  • データソース種別
    • CiNii Books
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