書誌事項
- タイトル
- "Proceedings of the Symposium on Silicon Nitride Thin Insulating Films"
- 責任表示
- edited by Vikram J. Kapoor, Herman J. Stein ; [sponsored by] Dielectrics and Insulation and Electronics Divisions
- 出版者
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- Electrochemical Society
- 出版年月
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- c1983
- 書籍サイズ
- 23 cm
- タイトル別名
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- Silicon nitride thin insulating films
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注記
Includes bibliographical references and index
"... held May 11-13, 1983 in San Francisco, California" -- on pref
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282271746554112
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- NII書誌ID
- BA84901871
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- LCCN
- 83082039
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/83082039
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Pennington, N.J.
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- 分類
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- LCC: TK7872.T55
- DC19: 621.381/7
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- 件名
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- データソース種別
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- CiNii Books
