Handbook of thin-film deposition processes and techniques : principles, methods, equipment, and applications
書誌事項
- タイトル
- "Handbook of thin-film deposition processes and techniques : principles, methods, equipment, and applications"
- 責任表示
- edited by Klaus K. Schuegraf
- 出版者
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- Noyes Publications
- 出版年月
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- c1988
- 書籍サイズ
- 25 cm
- タイトル別名
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- Hand book of thin-film deposition processes and techniques
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注記
Includes bibliographies and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282271774042496
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- NII書誌ID
- BA07074756
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- ISBN
- 0815511531
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- LCCN
- 87034702
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/87034702
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Park Ridge, N.J., U.S.A.
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- 分類
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- LCC: TK7872.T55
- DC19: 621.381/72
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- データソース種別
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- CiNii Books
