マイクロ加工の物理と応用

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書誌事項

タイトル
"マイクロ加工の物理と応用"
責任表示
吉田善一著
出版者
  • 裳華房
出版年月
  • 1998.3
書籍サイズ
22cm
タイトル別名
  • マイクロ カコウ ノ ブツリ ト オウヨウ
  • The physics and technology of microfabrication

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注記

欧文標題は標題紙裏による

付: 参考文献, 参考書

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