SiGe基板単結晶の低欠陥化と歪みを制御した機能性ヘテロ構造の創製
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "SiGe基板単結晶の低欠陥化と歪みを制御した機能性ヘテロ構造の創製"
- 責任表示
- 中嶋一雄研究代表
- 出版者
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- [中嶋一雄]
- 出版年月
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- 2007.5
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- SIGE キバンタンケッショウ ノ テイケッカンカ ト ヒズミ オ セイギョ シタ キノウセイ ヘテロ コウゾウ ノ ソウセイ
- 平成14年度～平成18年度科学研究費補助金(基盤研究(S))研究成果報告書 : 14102020
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注記
課題番号: 14102020
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282271939172864
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- NII書誌ID
- BB10250683
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [仙台]
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- データソース種別
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- CiNii Books