Nanolithography : the art of fabricating nanoelectronic and nanophotonic devices and systems
書誌事項
- タイトル
- "Nanolithography : the art of fabricating nanoelectronic and nanophotonic devices and systems"
- 責任表示
- edited by Martin Feldman
- 出版者
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- Woodhead Pub.
- 出版年月
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- 2014
- 書籍サイズ
- 25 cm
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282271939196032
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- NII書誌ID
- BB16560683
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- ISBN
- 9780857095008
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- LCCN
- 2013948203
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/2013948203
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- uk
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Oxford
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- 分類
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- DC23: 621.381531
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- 件名
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- LCSH: Nanolithography
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- データソース種別
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- CiNii Books
