書誌事項
- タイトル
- "Microelectronics processing : inorganic materials characterization"
- 責任表示
- Lawrence A. Casper, editor ; developed from a symposium sponsored by the Division of Industrial and Engineering Chemistry of the American Chemimcal Society
- 出版者
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- American Chemical Society
- 出版年月
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- 1986
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注記
Includes bibliographies and indexes
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282271990911488
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- NII書誌ID
- BA00560858
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- ISBN
- 0841209340
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- LCCN
- 85030648
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/85030648
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Washington, DC
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- データソース種別
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- CiNii Books