Integrated circuit metrology : May 4-5, 1982, Arlington, Virginia

Web Site CiNii 所蔵館 3館

書誌事項

タイトル
"Integrated circuit metrology : May 4-5, 1982, Arlington, Virginia"
責任表示
Diana Nyyssonen, chairman/editor ; cooperating organization, National Bureau of Standards
出版者
  • SPIE--the International Society for Optical Engineering
出版年月
  • c1982
書籍サイズ
28 cm
シリーズ名/番号
  • pbk.

この図書・雑誌をさがす

注記

Includes bibliographical references and indexes

関連図書・雑誌

もっと見る

詳細情報 詳細情報について

ページトップへ