イオンビームを用いた傾斜機能cBN薄膜合成の研究
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "イオンビームを用いた傾斜機能cBN薄膜合成の研究"
- 責任表示
- 研究代表者 三宅正司
- 出版者
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- 大阪大学接合科学研究所
- 出版年月
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- 1998.1
- 書籍サイズ
- 30 cm
- タイトル別名
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- イオン ビーム ヲ モチイタ ケイシャ キノウ cBN ハクマク ゴウセイ ノ ケンキュウ
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注記
課題番号: 07555521
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282272043830144
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- NII書誌ID
- BB28390605
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [吹田]
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- データソース種別
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- CiNii Books
