ナノメータ制御されたヘテロ層を有するSi-Ge系超微細デバイスに関する研究
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "ナノメータ制御されたヘテロ層を有するSi-Ge系超微細デバイスに関する研究"
- 責任表示
- 室田惇一研究代表
- 出版者
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- [室田惇一]
- 出版年月
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- 1994.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- ナノメータ セイギョ サレタ ヘテロソウ オ ユウスル Si-Geケイ チョウビサイ デバイス ニカンスル ケンキュウ
- 平成4年度～平成5年度科学研究費補助金(一般研究B)研究成果報告書(課題番号04452167)
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282272045949568
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- NII書誌ID
- BB10971313
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [仙台]
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- データソース種別
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- CiNii Books