書誌事項
- タイトル
- "Semiconductor manufacturing technology"
- 責任表示
- Chue San Yoo
- 出版者
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- World Scientific
- 出版年月
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- c2008
- 書籍サイズ
- 24 cm
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注記
Includes bibliographical references (p. 453-464) and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282272160903296
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- NII書誌ID
- BA90114190
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- ISBN
- 9789812568236
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- LCCN
- 2008299033
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/2008299033
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- si
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Singapore
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- 件名
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- データソース種別
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- CiNii Books