Tungsten and other refractory metals for VLSI applications II : proceedings of the 1986 workshop held November 12-14, 1986, Palo Alto, California, U.S.A.
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書誌事項
- タイトル
- "Tungsten and other refractory metals for VLSI applications II : proceedings of the 1986 workshop held November 12-14, 1986, Palo Alto, California, U.S.A."
- 責任表示
- sponsored by Continuing Education in Engineering, University Extension, University of California, Berkeley ; editor, Eliot K. Broadbent ; associate editors, Robert S. Blewer ... [et al]
- 出版者
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- Materials Research Society
- 出版年月
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- c1987
- 書籍サイズ
- 24 cm
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注記
Includes bibliographical references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282272173355136
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- NII書誌ID
- BA33720519
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- ISBN
- 0931837669
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Pittsburgh, Pa
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- データソース種別
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- CiNii Books
