Proceedings of the Second International Symposium on Cleaning Technology in Semiconductor Device Manufacturing
書誌事項
- タイトル
- "Proceedings of the Second International Symposium on Cleaning Technology in Semiconductor Device Manufacturing"
- 責任表示
- edited by Jerzy Ruzyllo, Richard E. Novak ; [sponsored by the] Electronics and Dielectric Science and Technology Divisions
- 出版者
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- Electrochemical Society
- 出版年月
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- c1992
- 書籍サイズ
- 23 cm
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注記
"Held at the Electrochemical Society Fall Meeting in Phoenix, Arizona, October 14-18, 1992"--P. iii
Includes bibliographical references and indexes
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282272247627136
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- NII書誌ID
- BA18281537
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- ISBN
- 1566770122
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- LCCN
- 92071447
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/92071447
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Pennington, NJ (10 South Main St., Pennington 08534-2896)
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- 分類
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- LCC: TK7871.85
- DC20: 621.381/52
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- データソース種別
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- CiNii Books
