Advances in resist technology and processing II : March 11-12, 1985, Santa Clara, California
書誌事項
- タイトル
- "Advances in resist technology and processing II : March 11-12, 1985, Santa Clara, California"
- 責任表示
- Larry F. Thompson, chairman/editor ; cooperating organization, the International Society for Hybrid Microelectronics
- 出版者
-
- SPIE--the International Society for Optical Engineering
- 出版年月
-
- c1985
- 書籍サイズ
- 28 cm
- シリーズ名/番号
-
- pbk.
この図書・雑誌をさがす
注記
Includes bibliographies and index
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1130282272266320512
-
- NII書誌ID
- BA23998574
-
- ISBN
- 0892525746
-
- LCCN
- 85050710
-
- Web Site
- https://lccn.loc.gov/85050710
-
- 本文言語コード
- en
-
- 出版国コード
- us
-
- タイトル言語コード
- en
-
- 出版地
-
- Bellingham, Wash., USA
-
- 件名
-
- データソース種別
-
- CiNii Books