Chemical surface preparation, passivation, and cleaning for semiconductor growth and processing : symposium held April 27-29, 1992, San Francisco, California, U.S.A.
書誌事項
- タイトル
- "Chemical surface preparation, passivation, and cleaning for semiconductor growth and processing : symposium held April 27-29, 1992, San Francisco, California, U.S.A."
- 責任表示
- editors, Robert J. Nemanich ... [et. al.]
- 出版者
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- Materials Research Society
- 出版年月
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- c1992
- 書籍サイズ
- 24 cm
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注記
Includes bibliographical references and indexes
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282272350655360
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- NII書誌ID
- BA19373448
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- ISBN
- 1558991549
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- LCCN
- 92026767
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/92026767
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Pittsburgh, Pa.
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- 分類
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- LCC: TK7871.85
- DC20: 621.3815/2
- NDC7: 549.8
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- 件名
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- データソース種別
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- CiNii Books