はじめての半導体製造装置

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書誌事項

タイトル
"はじめての半導体製造装置"
責任表示
前田和夫著
出版者
  • 技術評論社
出版年月
  • 2011.8
書籍サイズ
21cm
タイトル別名
  • ハジメテ ノ ハンドウタイ セイゾウ ソウチ

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注記

工業調査会 1999年刊の再刊

さらに半導体製造装置を学ぶ人のための参考書: p237-240

引用文献および資料: p241-244

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130282272404851840
  • NII書誌ID
    BB0639980X
  • ISBN
    9784774147505
  • 本文言語コード
    ja
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    ja
  • 出版地
    • 東京
  • 分類
  • 件名
  • データソース種別
    • CiNii Books
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