Materials & process integration for MEMS
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書誌事項
- タイトル
- "Materials & process integration for MEMS"
- 責任表示
- edited by Francis E.H. Tay
- 出版者
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- Kluwer Academic Publishers
- 出版年月
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- c2002
- 書籍サイズ
- 25 cm
- タイトル別名
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- Materials and process integration for MEMS
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注記
Includes bibliographical references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282272410871040
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- NII書誌ID
- BA63288519
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- ISBN
- 1402071752
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Boston
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- データソース種別
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- CiNii Books