極微細半導体素子での基板電流ゆらぎに伴う素子寿命不確定性抑制の研究

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書誌事項

タイトル
"極微細半導体素子での基板電流ゆらぎに伴う素子寿命不確定性抑制の研究"
出版者
  • [佐野伸行]
出版年月
  • 2001.3
書籍サイズ
30cm
タイトル別名
  • ゴク ビサイ ハンドウタイ ソシ デノ キバン デンリュウ ユラギ ニ トモナウ ソシ ジュミョウ フカクテイセイ ヨクセイ ノ ケンキュウ

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注記

研究代表者: 佐野伸行

研究課題番号: 10555115

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130282272504300032
  • NII書誌ID
    BA52926307
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    ja
  • 出版地
    • [つくば]
  • データソース種別
    • CiNii Books
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