Characterization of plasma-enhanced CVD processes : symposium held Novermber 27-28, 1989, Boston, Massachusetts, U.S.A.

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書誌事項

タイトル
"Characterization of plasma-enhanced CVD processes : symposium held Novermber 27-28, 1989, Boston, Massachusetts, U.S.A."
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editors, Gerald Lucovsky, Dale E. Ibbotson, Dennis W. Hess
出版者
  • Materials Research Society
出版年月
  • c1990
書籍サイズ
24 cm

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